Organosilicon Entèmedyè · Ajan Silylating
Egzamethyldisilazane (HMDS)
(Bis(trimethylsilil)amine / HMDS anidrid)
| Nimewo CAS | 999-97-3 |
| Non IUPAC | 1,1,1,3,3,3-hexamethyldisilazane |
| Sinonim | HMDS, hexa methyl disilazane, 1,1,1,3,3,3-hexamethyldisilazane, bis(trimethylsilyl)amine, hexamethylsilazane, N-(trimethylsilyl)trimethylsilyllamine |
| Fòmil molekilè | C₆H₁₉NSi₂ [(CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃] |
| Pwa molekilè | 161.39 g/mol |
| Kòd HS | 2931900090 |
| Klas ki disponib | Endistriyèl Famasetik Elektwonik (5N / 6N) |
Ki sa ki Hexamethyldisilazane (HMDS)? Yon BECA
Egzamethyldisilazane (HMDS), ekri tou kòmhexa methyl disilazaneoswa1,1,1,3,3,3-hexamethyldisilazane(CAS 999-97-3), se yon konpoze organosilicon san koulè, trè temèt ak yon odè karakteristik amonyak.Fòm konplè HMDS:Hexamethyldisilazane - yon non ki reflete estrikti li nan de (2) gwoup trimethylsilil ki mete pon pa yon atòm nitwojèn:(CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃. Achitekti disilazane inik sa a pèmèt silylation efikas gwoup fonksyonèl protik (idwoksil, amino, karboksil) ak idrofob sifas eksepsyonèl, ki fè HMDS yon reyaktif chimik iranplasabl atravè litografi semi-conducteurs, sentèz pharmaceutique, materyèl avanse, ak endistri tretman sifas yo.
Kontrèman ak ajan silylating tradisyonèl tankou trimethylchlorosilane (TMCS), HMDS ofri kondisyon reyaksyon pi modere, pi wo sede silylation, ak siyifikativman pi ba nan -jenerasyon pwodwi - avantaj kritik pou gwo-fabrikasyon kote pite strik ak pwòpte pwosesis yo mande. HMDS reyaji rapidman ak imidite pou libere amonyak, kidonk tout klas yo dwe okipe epi estoke anba pwoteksyon nitwojèn.
Nou fè patenarya ak dirijan manifaktirè Chinwa - ki gen ladan enstalasyon ki sètifye pa SMIC ak Yangtze Memory - pou founi HMDS Endistriyèl, Famasetik, ak Elektwonik nan pri konpetitif, ak anbalaj fleksib soti nan tanbou reyaktif nivo gram-touch endistriyèl IBC, k ap sèvi achtè nan Ewòp, Amerik di Nò, Azi Sidès, ak Mwayen Oryan an.
Pwopriyete fizik ak chimik nan HMDS
Espesifikasyon HMDS - Tout Klas
| Spesifikasyon | Endistriyèl Klas Sifas Tretman / Fillers |
Klas famasetik Sentèz dwòg (GMP) |
Elektwonik Klas Semiconductor Lithographie |
|---|---|---|---|
| Pite (GC) | Pi gran pase oswa egal a 98.0% | Pi gran pase oswa egal a 99.5% | Pi gran pase oswa egal a 99.999% (5N) jiska 6N pou nœuds avanse |
| Kontni Dlo | Mwens pase oswa egal a 0.1% | Mwens pase oswa egal a 0.02% | Mwens pase oswa egal a 0.005% (mwens pase oswa egal a 50 ppm) |
| Koulè (Pt-Co) | Mwens pase oswa egal a 30 | Mwens pase oswa egal a 10 | Mwens pase oswa egal a 5 |
| Pwen bouyi | 125-127 degre | 126.0-126.5 degre | 126.2 ± 0.2 degre |
| Flash Point | 17 degre (gode fèmen) | 17 degre (gode fèmen) | 17 degre (gode fèmen) |
| Enpurte metal | Pa espesifye | Yon sèl ion mwens pase oswa egal a 10 ppm | Yon sèl ion Mwens pase oswa egal a 1 ppb (nivo ppt pou nœuds 14nm) |
| Lavi etajè | 6 mwa (N₂-sele) | 12 mwa (N₂-sele, nwa) | 18 mwa (ultra-pwòp N₂-sele) |
| Anbalaj | 180 kg tanbou asye 1000 kg IBC tote |
20L HDPE tanbou 200L N₂-tanbou asye sele |
Tanbou kwatz 10L-aliyen Tanbou asye 200L ultra-pwòp |
Konfòme ak GB/T 30301-2013, REACH & TSCA. Rapò tès COA, SDS/MSDS, ak twazyèm pati ki disponib sou demann.
Itilizasyon ak jaden aplikasyon HMDS
1. Semiconductor Lithographie - Photoresist Adhesion Promoter
HMDS se endistri-estandapwomotè adezyon, Jadendanfan, ak ajan kouch idrofobnan Silisyòm wafer litografi, kontablite pou plis pase40% konsomasyon total HMDS. Aplike kòm yon premye vapè-faz premye (VPP) anvan kouch fotorezist, HMDS reyaji ak gwoup idroksil sifas (Si-OH) sou wafer la pou fòme yon kouch trimethylsilil idrofob dans. Sa a dramatikman amelyore adezyon fotorezistans, anpeche reziste dekale pandan devlopman, epi elimine fòmasyon chaplèt kwen - asire egzat modèl sikwi amann desann nan28nm nœuds ak anba a.
Kòm nœuds semi-conducteurs avanse yo pwogrese nan 14nm, 7nm, ak pi lwen, kondisyon pite yo te ogmante nanKlas 5N (99.999%) ak 6N, ak enpurte metal kontwole nan nivo ppb-ppt. Pwodwi elektwonik -HMDS nou yo itilize teknoloji avanse pou retire metal tras, ki satisfè estanda kalifikasyon dirijan fab ki gen ladan SMIC, Yangtze Memory, Changxin Memory, ak UMC.
2. Endistri famasetik - Ajan Silylating pou sentèz dwòg
Nan sentèz pharmaceutique, HMDS lajman itilize kòm yonajan silylatingpou pwoteje gwoup fonksyonèl reyaktif protik (–OH, –NH₂, –COOH) nan entèmedyè dwòg, anpeche reyaksyon segondè vle ak siyifikativman amelyore selektivite reyaksyon ak sede pwodwi sib. Li se yon reyaktif kle nan sentèz la nan anti-timè, antiviral, ak antialèji aktif engredyan pharmaceutique (APIs).
HMDS pharmaceutique -klas nou an (pi gran pase oswa egal a 99.5% pite, GMP-konpatib) te valide pa dirijan pharmaceutique CDMO antrepwiz ak bay bon jan kalite pakèt ki estab esansyèl pou R&D dwòg ak gwo -fabrikasyon echèl.
Referans:Farmakope Etazini (USP) ↗
3. Materyèl ak Tretman Sifas - Ajan Hydrophobization
HMDS se yon trè efikasajan idrofobizasyonpou file inòganik tankou silica fumed ak diyoksid Titàn. Modifikasyon sifas ak HMDS siyifikativman amelyore konpatibilite filler-matris nan kawotchou silikon ak konpoze résine epoksidik, amelyore pwopriyete mekanik (diverite, fòs rupture) ak rezistans move tan. Li se lajman ki itilize nan materyèl enkapsulasyon OLED ak tretman an vè modil fotovoltaik, kote HMDS-sifas modifye montre pèfòmans baryè imidite ansibleman amelyore, pwolonje lavi sèvis nan anviwònman difisil deyò.
Pouvè, seramik, ak tretman sifas metal, HMDS fòme yon fim idrofob dans, kovalan, ki anpeche absòpsyon imidite ak korozyon.
4. Chimi analyse & Fine Chimik
Nan chimi analyse, HMDS yo itilize kòm yonreyaktif derivatizasyonpou analiz GC nan konpoze protik (alkòl, fenol, asid karboksilik). Dérivés silylated montre pi gwo volatilité ak separasyon kwomatografik amelyore, sa ki pèmèt analiz quantitative presi nan sibstans ki sou tras nan matris konplèks.
Nan pwodwi chimik amann, HMDS sèvi kòm yon entèmedyè pou -siliktan silikon segondè ak rezin silikon yo itilize nan pwodwi chimik chak jou ak enprime twal. Yo prevwa mache elektwonik -HMDS klas la ap grandi nan yon CAGR de 18.3% jiska 2026, kondwi pa akselere lokalizasyon semi-conducteurs ak ekspansyon kapasite CDMO pharmaceutique.
Referans:Enskripsyon ECHA REACH - HMDS ↗
5. HMDS kòm yon baz - LiHMDS, NaHMDS & KHMDS
Pi lwen pase wòl li kòm yon ajan silylating, HMDS se yon précurseur kle nan baz yo lajman itilize metal amid:LiHMDS(ityòm hexamethyldisilazide, ityòm bis(trimethylsilil)amid),NaHMDS(sodyòm hexamethyldisilazide), akKHMDS(potasyòm èksamethyldisilazide). Baz fò, ki anpeche sa yo se reyaktif esansyèl nan sentèz pharmaceutique ak chimik amann pou fòmasyon enolat selektif, deprotonasyon dirije, ak reyaksyon asimetri kote esansyèl esterik ak chemoselectivity yo kritik.
LiHMDS(CAS 4039-32-1) se pi lajman itilize a, presye pou debaz segondè li yo (pKa ~ 30 nan THF) ak solisyon ekselan nan solvang etere.NaHMDSepiKHMDSofri ogmante reyaksyon epi yo itilize kote LiHMDS pa sifizan reyaktif. Tout twa yo fabrike nan HMDS kòm materyèl demaraj kle, sa ki fè gwo -pwovizyon HMDS pite enpòtan anpil pou pwodiksyon yo.
Nou bay HMDS pite segondè -ki apwopriye kòm materyo pou pwodiksyon LiHMDS, NaHMDS, ak KHMDS. Kontakte nou pou espesifikasyon esansyèl.
Ki jan HMDS fèt? Pwosesis Faktori
HMDS fabrike komèsyalman atravè de wout prensipal yo. Tradisyonèl lapwosesis amonoliz klorosilanreyaji trimethylchlorosilane (TMCS) ak amonyak depase: 2 (CH₃)₃SiCl + NH₃ → (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃ + 2 HCl. Pa-pwodwi HCl la netralize epi pwodui brit la pirifye pa redresman milti-etap. Yon altènatifteknoloji transaminasyon vètsèvi ak hexamethyldisiloxane (HMDSO) ak amonyak nan kondisyon katalitik, diminye klori pa -pwodwi ak enpak anviwònman an.
Manifaktirè patnè nou yo opere liy pwodiksyon amonoliz kontinyèl ak redresman milti-etap ak sistèm pirifikasyon adsorption aswa molekilè, ki bay pite konsistan de pakèt an pakèt atravè tout klas yo.
HMDS Depo, Estabilite ak Sekirite Manipulation
Kondisyon pou Depo
Sere nan yon kote ki fre (0–25 degre), sèk, byen -aereeksplozyon-depo prèvlwen sous chalè, flanm dife ak limyè solèy la dirèk. Tout anbalaj yo dwe azòt-sele pou izole imidite ak lè - HMDS idrolize rapidman lè yo kontakte imidite anbyen. Klas endistriyèl: nitwojèn-tanbou asye sele. Klas famasetik ak elektwonik: tanbou ultra-pwòp nitwojèn-sele HDPE oswa kwatz-(ISO 14644 anbalaj pwòp pou klas elektwonik). Separe ak oksidan ak asid fò ak yon minimòm 20-separasyon pye oswa yon baryè 30-minit dife-. Pile maksimòm: 2 kouch pou 180 kg tanbou asye. Ekipe depo ak ekleraj ki pa gen okenn eksplozyon ak aparèy pou etenn dife poud sèk oswa CO₂.
Nòt estabilite
HMDS se chimikman ki estab lè yo estoke sèk ak anba nitwojèn. Ekspozisyon nan imidite lakòz idroliz; ekspoze a asid fò oswa oksidan ka lakòz reyaksyon vyolan. Evite ekspoze pwolonje nan tanperati ki pi wo a 30 degre pou anpeche volatilizasyon akselere.
Sekirite ak manyen (SDS / MSDS Rezime)
PPE obligatwa:Rad anti-estatik, gan kawotchou nitril (twa-kouch pou operasyon ki gen gwo-risk), linèt sekirite chimik, plak pwotèj figi, ak respiratè vapè òganik (SCBA pou espas fèmen). Pa manje, bwè, oswa fimen pandan operasyon yo.
Repons devèsman:Koupe sous ignisyon imedyatman, evakye van an. Izole zòn devèsman an. Absòbe ak sab sèk oswa sann soda - PA sèvi ak dlo. Transfere materyèl absòbe nan resipyan ki fèmen pou jete. Pa jete nan egou oswa tè.
Premye swen:Po - retire rad ki kontamine, lave ak savon ak dlo pou Plis pase oswa egal a 15 min. Je - lave ak dlo pou plis pase oswa egal a 15 min, chèche swen medikal. Rale - ale nan lè fre imedyatman. Enjèstyon - pa pwovoke vomisman; chèche swen medikal ijans. Full SDS/MSDS PDF ki disponib nan ekip lavant nou an.
HMDS Pri - 2025 Referans Mache
Lapri HMDS(pri hexamethyldisilazane) varye anpil pa klas pite, spesifikasyon anbalaj, ak volim lòd. Sa ki annapre yo se pri referans 2025 pou pwodwi Lachin-orijin (ansyen-baz travay):
Pi gran pase oswa egal a 98.0%
Pi gran pase oswa egal a 99.5%
Pi gran pase oswa egal a 99.999% (5N)
Kesyon yo poze souvan sou HMDS
K: Ki sa ki HMDS vle di? Ki sa ki fòm konplè HMDS?
HMDS la vle diHexamethyldisilazane- Non chimik konplè a se 1,1,1,3,3,3-hexamethyldisilazane, ki ekri tou kòm hexa methyl disilazane. Nan chimi, HMDS espesyalman refere a konpoze organosilicon sa a (CAS 999-97-3) ak estrikti a (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃. Remak: "HMDS" yo itilize tou kòm yon abrevyasyon nan domèn ki pa gen rapò (egzanp, kontèks medikal, militè, oswa agrikòl), men nan kontèks chimi ak fabrikasyon semi-conducteurs, HMDS envaryabmam vle di hexamethyldisilazane.
K: Ki sa ki itilize HMDS nan fabrikasyon semi-conducteurs?
HMDS yo itilize kòm yon pwomotè adezyon vapè-faz (primer) aplike sou sifas wafer Silisyòm anvan kouch fotorezist. Li reyaji ak sifas Si-OH gwoup yo fòme yon monokouch trimethylsilil idrofob, ki amelyore dramatikman adezyon fotorezist, anpeche delaminasyon pandan devlopman mouye, epi asire presizyon dimansyon nan modèl sikwi amann. Li se yon materyèl pwosesis estanda nan nòmalman chak fab wafer Silisyòm nan lemonn, soti nan eritaj 200mm rive nan dènye bout -ligne litografi EUV 300mm.
K: Ki diferans ki genyen ant klas endistriyèl ak klas elektwonik HMDS?
Klas Endistriyèl (Pi gwo pase oswa egal a 98.0%) se apwopriye pou tretman sifas nan file (silik fumed, TiO₂), kouch, ak aplikasyon jeneral silylation kote kontni metal tras pa kritik. Klas Elektwonik (Pwose oswa egal a 99.999%, 5N) mande pou enpurte metal endividyèl ki anba a 1 ppb - obligatwa pou litografi semi-conducteurs kote sub-ppb kontaminasyon metalik ta lakòz echèk aparèy. Elektwonik Klas yo pake nan kondisyon ISO 14644 ultra-pwòp nan tanbou asye ki gen kwatz-aliyen oswa sètifye ultra-, ak chak pakèt akonpaye pa yon rapò konplè ICP-MS metal tras.
K: Poukisa HMDS reyaji ak dlo, epi ki jan yo ta dwe estoke li?
HMDS gen yon kosyon Si–N–Si ki trè sansib pou idroliz: (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃ + H₂O → 2 (CH₃)₃SiOH + NH₃. Amonyak ki lage a kreye presyon nan resipyan ki fèmen, e ki lakòz hexamethyldisiloxane (HMDSO) kontamine pwodwi a. Se poutèt sa, tout klas yo dwe estoke anba nitwojèn sèk nan resipyan ki fèmen, nan 0-25 degre, lwen nenpòt sous imidite. Resipyan ki louvri yo ta dwe imedyatman re-sele epi kouvri ak nitwojèn apre chak itilizasyon.
K: Ki sa ki HMDS ak ki jan li diferan de HMDSO?
HMDS (hexamethyldisilazane, CAS 999-97-3) gen yon lyezon Si–N–Si epi li se reyaktif silylating aktif la. HMDSO (hexamethyldisiloxane, CAS 107-46-0) gen yon lyezon Si–O–Si epi li se pa pwodui idroliz HMDS - li mwens reyaktif. HMDS yo itilize kòm yon modifye sifas chimik ak reyaktif silylation; HMDSO yo itilize sitou kòm yon likid silikon ki pa reyaktif ak matyè premyè pou sentèz HMDS. De la pa ta dwe konfonn lè espesifye materyèl pou litografi oswa pwosesis pharmaceutique.
K: Ki sètifikasyon mwen ta dwe mande nan men yon founisè HMDS?
Pou aplikasyon endistriyèl: ISO 9001 (jesyon kalite) ak ISO 14001 (anviwònman). Pou klas pharmaceutique: Konfòmite GMP, kapasite pou bay USP/EP-referans COA, ak rapò QC twazyèm-pati. Pou klas elektwonik: konfimasyon kalifikasyon en semiconductor fab (egzanp, SMIC, UMC sètifikasyon), SEMI F47 oswa materyèl ekivalan estanda konfòmite, konplè ICP-MS rapò metal tras pou chak pakèt, ak ISO 14644-sètifye anbalaj pwòp. Tout klas yo ta dwe pote aktyèl REACH ak TSCA anrejistreman pou ekspòtasyon entènasyonal yo.
K: Kisa k ap pase lè HMDS reyaji ak dlo?
HMDS reyaji rapidman ak dlo atravè idroliz: (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃ + H₂O → 2 (CH₃)₃SiOH → (CH₃)₃Si–O–Si(CH₃)₃ + NH₃. Pwodwi yo se hexamethyldisiloxane (HMDSO) ak amonyak. Reyaksyon sa a se ègzotèmik ak jenere gaz amonyak, ki kreye presyon nan resipyan ki fèmen epi li degrade pite pwodwi. Se poutèt sa tout klas HMDS - ki enkli endistriyèl - dwe estoke ak okipe anba nitwojèn sèk tout tan. Menm imidite anbyen ka kòmanse idroliz dousman sou peryòd depo pwolonje.
K: Ki altènativ prensipal yo nan HMDS, ak ki lè HMDS pi pito?
Altènativ komen ajan silylating gen ladan trimethylchlorosilane (TMCS), N-methyl-N-trimethylsilylacetamide (MSA), ak N,O-bis(trimethylsilyl)acetamide (BSA). HMDS pi pito lè kondisyon reyaksyon modere yo mande (pa gen okenn HCl pa -pwodwi), lè gwo rannman silylation se kritik, oswa lè pwosesis la mande pou kontaminasyon minim soti nan asid oswa koroziv pa pwodwi -- fè li chwa estanda pou tretman wafer semi-conducteurs ak sentèz pharmaceutique. Pou gwo idrofobizasyon endistriyèl kote pri a se prensipal chofè, TMCS ka itilize kòm yon altènatif ki pi ba -pri.
Referans endistri ak estanda
Pwopriyete fizikochimik konplè, done toksikoloji, klasifikasyon GHS, ak enfòmasyon regilasyon.
Entènasyonal estanda kò pou materyèl semi-conducteurs espesifikasyon pite ak pwotokòl kalifikasyon.
Dosye ofisyèl REACH Inyon Ewopeyen an: klasifikasyon danje, senaryo ekspoze, ak sitiyasyon regilasyon.
Otorite mondyal pou reyaktif analyse ak{0}}wo pite; referans estanda pou bon jan kalite HMDS benchmarking.
Jwenn yon Quote · Konsiltasyon Teknik
Mande pri HMDS ak sipò pou pwodwi
Nou bay HMDS Endistriyèl, Famasetik, ak Elektwonik Klas (CAS 999-97-3) ak pri konpetitif ak anbalaj fleksib. Kontakte ekip nou an pou yon sitasyon pwepare, SDS/MSDS, oswa konsèy aplikasyon.
Pwodwi ki gen rapò: Trimethylchlorosilane (TMCS) · Hexamethyldisiloxane (HMDSO) · Lòt Entèmedyè Organosilicon
Baj popilè: hexamethyldisilazane, Lachin hexamethyldisilazane manifaktirè yo, founisè
